物理学报
物理學報
물이학보
2005年
3期
1283-1289
,共7页
张端明%李莉%李智华%关丽%侯思普%谭新玉
張耑明%李莉%李智華%關麗%侯思普%譚新玉
장단명%리리%리지화%관려%후사보%담신옥
脉冲激光沉积%吸收率%有限差分%温度演化
脈遲激光沉積%吸收率%有限差分%溫度縯化
맥충격광침적%흡수솔%유한차분%온도연화
讨论了脉冲激光沉积法中烧蚀阶段熔融前靶材吸收率的变化对于其温度分布的影响.给出了靶材吸收率随时间的变化规律,并在此基础上,利用较为符合实际的高斯分布表示脉冲激光输入能量密度,建立了相应的热传导方程.结合适当的边界条件,利用有限差分法,以硅靶材和钨靶材为例,给出了靶材熔融前温度分布随时间和深度变化的演化分布规律,同时对相关过程的物理图像进行详细的讨论.对于吸收率的变化与脉冲激光能量密度的分布对于相应过程的影响,进行了分析讨论.结果表明,在脉冲激光中间的持续过程中,忽略靶材吸收率的变化对于最终的模拟结果有重要影响,从而导致理论结果与实验数据有较大差异.
討論瞭脈遲激光沉積法中燒蝕階段鎔融前靶材吸收率的變化對于其溫度分佈的影響.給齣瞭靶材吸收率隨時間的變化規律,併在此基礎上,利用較為符閤實際的高斯分佈錶示脈遲激光輸入能量密度,建立瞭相應的熱傳導方程.結閤適噹的邊界條件,利用有限差分法,以硅靶材和鎢靶材為例,給齣瞭靶材鎔融前溫度分佈隨時間和深度變化的縯化分佈規律,同時對相關過程的物理圖像進行詳細的討論.對于吸收率的變化與脈遲激光能量密度的分佈對于相應過程的影響,進行瞭分析討論.結果錶明,在脈遲激光中間的持續過程中,忽略靶材吸收率的變化對于最終的模擬結果有重要影響,從而導緻理論結果與實驗數據有較大差異.
토론료맥충격광침적법중소식계단용융전파재흡수솔적변화대우기온도분포적영향.급출료파재흡수솔수시간적변화규률,병재차기출상,이용교위부합실제적고사분포표시맥충격광수입능량밀도,건립료상응적열전도방정.결합괄당적변계조건,이용유한차분법,이규파재화오파재위례,급출료파재용융전온도분포수시간화심도변화적연화분포규률,동시대상관과정적물리도상진행상세적토론.대우흡수솔적변화여맥충격광능량밀도적분포대우상응과정적영향,진행료분석토론.결과표명,재맥충격광중간적지속과정중,홀략파재흡수솔적변화대우최종적모의결과유중요영향,종이도치이론결과여실험수거유교대차이.
