无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2005年
5期
1270-1274
,共5页
刘卫平%余庆选%田宇全%廖源%王冠中%方容川
劉衛平%餘慶選%田宇全%廖源%王冠中%方容川
류위평%여경선%전우전%료원%왕관중%방용천
孪晶%HFCVD%硼掺杂%金刚石薄膜
孿晶%HFCVD%硼摻雜%金剛石薄膜
련정%HFCVD%붕참잡%금강석박막
采用HFCVD方法制备了掺硼金刚石薄膜,通过扫描电子显微镜和X射线衍射光谱对样品的表面形貌及结构进行了分析.结果表明,随着硼含量的增加,薄膜中晶粒的取向由(100)变为(111),然后趋向于无序化.硼的掺入同样影响到孪晶晶粒的形态及生长因子α,使得α变小.通过对样品的Raman光谱分析,得出在适当的硼掺杂浓度下,孪晶的出现使金刚石薄膜中的应力得到松弛,从而中心声子线Raman位移红移较小.
採用HFCVD方法製備瞭摻硼金剛石薄膜,通過掃描電子顯微鏡和X射線衍射光譜對樣品的錶麵形貌及結構進行瞭分析.結果錶明,隨著硼含量的增加,薄膜中晶粒的取嚮由(100)變為(111),然後趨嚮于無序化.硼的摻入同樣影響到孿晶晶粒的形態及生長因子α,使得α變小.通過對樣品的Raman光譜分析,得齣在適噹的硼摻雜濃度下,孿晶的齣現使金剛石薄膜中的應力得到鬆弛,從而中心聲子線Raman位移紅移較小.
채용HFCVD방법제비료참붕금강석박막,통과소묘전자현미경화X사선연사광보대양품적표면형모급결구진행료분석.결과표명,수착붕함량적증가,박막중정립적취향유(100)변위(111),연후추향우무서화.붕적참입동양영향도련정정립적형태급생장인자α,사득α변소.통과대양품적Raman광보분석,득출재괄당적붕참잡농도하,련정적출현사금강석박막중적응력득도송이,종이중심성자선Raman위이홍이교소.
