激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2006年
7期
525-528
,共4页
王多书%罗崇泰%陈焘%刘宏开%马勉军%黄良甫
王多書%囉崇泰%陳燾%劉宏開%馬勉軍%黃良甫
왕다서%라숭태%진도%류굉개%마면군%황량보
激光直写技术%掩模%微结构%微光学
激光直寫技術%掩模%微結構%微光學
격광직사기술%엄모%미결구%미광학
简述了极坐标激光直写技术原理,并利用该技术研究了在铬板、光刻胶版表面制作微结构的工艺,制作了光栅、非涅耳透镜、曲面衍射透镜、平面连续微结构衍射透镜掩模以及基于MEMS技术的微型太阳敏感器光学掩模.
簡述瞭極坐標激光直寫技術原理,併利用該技術研究瞭在鉻闆、光刻膠版錶麵製作微結構的工藝,製作瞭光柵、非涅耳透鏡、麯麵衍射透鏡、平麵連續微結構衍射透鏡掩模以及基于MEMS技術的微型太暘敏感器光學掩模.
간술료겁좌표격광직사기술원리,병이용해기술연구료재락판、광각효판표면제작미결구적공예,제작료광책、비열이투경、곡면연사투경、평면련속미결구연사투경엄모이급기우MEMS기술적미형태양민감기광학엄모.
