激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2006年
11期
1013-1015
,共3页
二次离子质谱%碲镉汞%红外焦平面阵列%结深%杂质
二次離子質譜%碲鎘汞%紅外焦平麵陣列%結深%雜質
이차리자질보%제력홍%홍외초평면진렬%결심%잡질
文章介绍了二次离子质谱仪的结构及其基本工作原理,并通过对典型应用的分析,介绍了二次离子质谱分析技术在高灵敏度碲镉汞红外焦平面探测器材料和器件制备工艺中的作用,特别是在结探监测和微量杂质监控方面所发挥的重要作用.
文章介紹瞭二次離子質譜儀的結構及其基本工作原理,併通過對典型應用的分析,介紹瞭二次離子質譜分析技術在高靈敏度碲鎘汞紅外焦平麵探測器材料和器件製備工藝中的作用,特彆是在結探鑑測和微量雜質鑑控方麵所髮揮的重要作用.
문장개소료이차리자질보의적결구급기기본공작원리,병통과대전형응용적분석,개소료이차리자질보분석기술재고령민도제력홍홍외초평면탐측기재료화기건제비공예중적작용,특별시재결탐감측화미량잡질감공방면소발휘적중요작용.
