功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2003年
3期
240-246
,共7页
程珊华%宁兆元%李戈扬%叶超%杜伟%辛煜
程珊華%寧兆元%李戈颺%葉超%杜偉%辛煜
정산화%저조원%리과양%협초%두위%신욱
电子回旋共振等离子体%氟化非晶碳薄膜%四极质谱%发射光谱
電子迴鏇共振等離子體%氟化非晶碳薄膜%四極質譜%髮射光譜
전자회선공진등리자체%불화비정탄박막%사겁질보%발사광보
在一个微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积系统中,测量了 CHF3、 C6H6及其混合气体放电的质谱和发射光谱图,分析了等离子体中主要基团的分布及其产生的途径,研究了放电功率和流量对主要基团密度的影响,以及它们与氟化非晶碳薄膜沉积速率和键结构之间的关联.结果表明,提高微波功率会增加 CHx、 CFx等成膜基团的密度,有利于加大沉积速率;而增加 CHF3的进气量则会加大 F原子基团的密度,这是由于它控制了薄膜的氟化程度.
在一箇微波電子迴鏇共振等離子體化學氣相沉積繫統中,測量瞭 CHF3、 C6H6及其混閤氣體放電的質譜和髮射光譜圖,分析瞭等離子體中主要基糰的分佈及其產生的途徑,研究瞭放電功率和流量對主要基糰密度的影響,以及它們與氟化非晶碳薄膜沉積速率和鍵結構之間的關聯.結果錶明,提高微波功率會增加 CHx、 CFx等成膜基糰的密度,有利于加大沉積速率;而增加 CHF3的進氣量則會加大 F原子基糰的密度,這是由于它控製瞭薄膜的氟化程度.
재일개미파전자회선공진등리자체화학기상침적계통중,측량료 CHF3、 C6H6급기혼합기체방전적질보화발사광보도,분석료등리자체중주요기단적분포급기산생적도경,연구료방전공솔화류량대주요기단밀도적영향,이급타문여불화비정탄박막침적속솔화건결구지간적관련.결과표명,제고미파공솔회증가 CHx、 CFx등성막기단적밀도,유리우가대침적속솔;이증가 CHF3적진기량칙회가대 F원자기단적밀도,저시유우타공제료박막적불화정도.
