摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2004年
6期
498-502
,共5页
张玉娟%吴志国%张伟伟%阎鹏勋%刘维民%薛群基
張玉娟%吳誌國%張偉偉%閻鵬勛%劉維民%薛群基
장옥연%오지국%장위위%염붕훈%류유민%설군기
磁过滤等离子体沉积%多弧离子镀%氮化钛薄膜%摩擦学性能
磁過濾等離子體沉積%多弧離子鍍%氮化鈦薄膜%摩抆學性能
자과려등리자체침적%다호리자도%담화태박막%마찰학성능
分别采用多弧离子镀(MAIP)和带有平面"S"形过滤管的磁过滤阴极弧设备(FCAP)在不锈钢基底上制备了2种TiN薄膜;采用往复式球-盘摩擦磨损试验机评价了2种薄膜的摩擦学性能;采用扫描电子显微镜观察和分析了薄膜磨斑表面形貌及其元素面分布.结果表明:采用FCAP技术制备的薄膜表面光滑、缺陷少、普遍具有明显的(111)面择优取向;而采用MAIP技术制备的薄膜表面存在较多大小不一的颗粒和孔洞,且无明显取向.在较低载荷下,采用FCAP薄膜表现出较好的抗磨性能,其磨斑表面存在沉积的TiN磨屑;而采用MAIP制备的薄膜磨斑表面无转移沉积磨屑,摩擦系数较高.
分彆採用多弧離子鍍(MAIP)和帶有平麵"S"形過濾管的磁過濾陰極弧設備(FCAP)在不鏽鋼基底上製備瞭2種TiN薄膜;採用往複式毬-盤摩抆磨損試驗機評價瞭2種薄膜的摩抆學性能;採用掃描電子顯微鏡觀察和分析瞭薄膜磨斑錶麵形貌及其元素麵分佈.結果錶明:採用FCAP技術製備的薄膜錶麵光滑、缺陷少、普遍具有明顯的(111)麵擇優取嚮;而採用MAIP技術製備的薄膜錶麵存在較多大小不一的顆粒和孔洞,且無明顯取嚮.在較低載荷下,採用FCAP薄膜錶現齣較好的抗磨性能,其磨斑錶麵存在沉積的TiN磨屑;而採用MAIP製備的薄膜磨斑錶麵無轉移沉積磨屑,摩抆繫數較高.
분별채용다호리자도(MAIP)화대유평면"S"형과려관적자과려음겁호설비(FCAP)재불수강기저상제비료2충TiN박막;채용왕복식구-반마찰마손시험궤평개료2충박막적마찰학성능;채용소묘전자현미경관찰화분석료박막마반표면형모급기원소면분포.결과표명:채용FCAP기술제비적박막표면광활、결함소、보편구유명현적(111)면택우취향;이채용MAIP기술제비적박막표면존재교다대소불일적과립화공동,차무명현취향.재교저재하하,채용FCAP박막표현출교호적항마성능,기마반표면존재침적적TiN마설;이채용MAIP제비적박막마반표면무전이침적마설,마찰계수교고.
