适用于200 mm太阳能电池片的闭管扩散/氧化系统设计
괄용우200 mm태양능전지편적폐관확산/양화계통설계
Diffusion/Oxidation System Design For 200 mm Solar Square Wafer
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2007年 5期 51-54 ,共4页

    钟华%盛金龙

    종화%성금룡

    闭管扩散%太阳能%设备 閉管擴散%太暘能%設備
    폐관확산%태양능%설비
    介绍了适用于太阳能电池生产线闭管磷扩散设备,着重阐述了该设备的结构组成、工艺原理及控制.
    개소료괄용우태양능전지생산선폐관린확산설비,착중천술료해설비적결구조성、공예원리급공제.
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