激光与光电子学进展
激光與光電子學進展
격광여광전자학진전
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS
2009年
3期
50-56,61
,共8页
田俊林%申林%张云洞%李斌成
田俊林%申林%張雲洞%李斌成
전준림%신림%장운동%리빈성
薄膜%深紫外%增强型铝镜%氧化物%氟化物%能量沉积
薄膜%深紫外%增彊型鋁鏡%氧化物%氟化物%能量沉積
박막%심자외%증강형려경%양화물%불화물%능량침적
随着准分子激光、自由电子激光以及全固态深紫外激光等深紫外激光光源的推广应用,近年来,深紫外波段光学薄膜技术得到了快速的发展.综述了深紫外波段增强型铝镜、氧化物薄膜、氟化物薄膜以及氧化物和氟化物的混合薄膜的最新研究进展.
隨著準分子激光、自由電子激光以及全固態深紫外激光等深紫外激光光源的推廣應用,近年來,深紫外波段光學薄膜技術得到瞭快速的髮展.綜述瞭深紫外波段增彊型鋁鏡、氧化物薄膜、氟化物薄膜以及氧化物和氟化物的混閤薄膜的最新研究進展.
수착준분자격광、자유전자격광이급전고태심자외격광등심자외격광광원적추엄응용,근년래,심자외파단광학박막기술득도료쾌속적발전.종술료심자외파단증강형려경、양화물박막、불화물박막이급양화물화불화물적혼합박막적최신연구진전.
