原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
6期
530-534
,共5页
于洪波%刘实%胡魁义%王隆保%戎利建
于洪波%劉實%鬍魁義%王隆保%戎利建
우홍파%류실%호괴의%왕륭보%융리건
磁控溅射%氦泡%Ti膜
磁控濺射%氦泡%Ti膜
자공천사%양포%Ti막
在氦气和氩气混合气氛中用磁控溅射法制备含氦Ti膜.应用透射电镜观察不同氦气和氩气流量比对Ti膜微观结构及氦泡形貌和分布的影响,并研究退火温度对氦泡聚集和长大行为的影响.研究观测到,Ti膜中氦泡的尺寸随氦流量的增加而增大,氦泡的密度随氦流量改变出现一最大值;温度低于0.5 Tm时,He泡以泡迁移和合并机制(MC)长大;温度高于0.5 Tm时,He从小泡离解,被大泡吸收,以OR机制长大,氦泡尺寸明显增加.
在氦氣和氬氣混閤氣氛中用磁控濺射法製備含氦Ti膜.應用透射電鏡觀察不同氦氣和氬氣流量比對Ti膜微觀結構及氦泡形貌和分佈的影響,併研究退火溫度對氦泡聚集和長大行為的影響.研究觀測到,Ti膜中氦泡的呎吋隨氦流量的增加而增大,氦泡的密度隨氦流量改變齣現一最大值;溫度低于0.5 Tm時,He泡以泡遷移和閤併機製(MC)長大;溫度高于0.5 Tm時,He從小泡離解,被大泡吸收,以OR機製長大,氦泡呎吋明顯增加.
재양기화아기혼합기분중용자공천사법제비함양Ti막.응용투사전경관찰불동양기화아기류량비대Ti막미관결구급양포형모화분포적영향,병연구퇴화온도대양포취집화장대행위적영향.연구관측도,Ti막중양포적척촌수양류량적증가이증대,양포적밀도수양류량개변출현일최대치;온도저우0.5 Tm시,He포이포천이화합병궤제(MC)장대;온도고우0.5 Tm시,He종소포리해,피대포흡수,이OR궤제장대,양포척촌명현증가.
