新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2006年
8期
5-8
,共4页
徐晔%蔡珣%陈秋龙%沈耀%李刘合
徐曄%蔡珣%陳鞦龍%瀋耀%李劉閤
서엽%채순%진추룡%침요%리류합
Ti-Si-N膜%纳米复合膜%微观结构%纳米硬度%工艺参数
Ti-Si-N膜%納米複閤膜%微觀結構%納米硬度%工藝參數
Ti-Si-N막%납미복합막%미관결구%납미경도%공예삼수
随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高,Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点.本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对Ti-Si-N膜的微观结构与力学性能的影响.
隨著現代工業對材料錶麵塗層的要求不斷提高,Ti-Si-N膜以其獨特的納米複閤結構、超硬性及其他優異的力學性能成為研究的熱點.本文綜述瞭Ti-Si-N納米複閤膜的製備工藝以及工藝參數對Ti-Si-N膜的微觀結構與力學性能的影響.
수착현대공업대재료표면도층적요구불단제고,Ti-Si-N막이기독특적납미복합결구、초경성급기타우이적역학성능성위연구적열점.본문종술료Ti-Si-N납미복합막적제비공예이급공예삼수대Ti-Si-N막적미관결구여역학성능적영향.
