传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2009年
6期
86-88
,共3页
微机电系统%压力传感器%机油压力%封装设计
微機電繫統%壓力傳感器%機油壓力%封裝設計
미궤전계통%압력전감기%궤유압력%봉장설계
由于汽车应用环境相当恶劣,对机油压力传感器的可靠性要求很高.采用波纹膜片隔离技术设计了一种新型的MEMS机油压力传感器.分析了波纹膜片、充油腔体结构及硅油对压力传感器性能的影响.理论和实验结果指出,合理的设计波纹结构、充油腔体结构、减小腔体体积及净化好硅油是获得高性能机油压力传感器的关键.研制的传感器在温度为-40～125℃,量程为0.6 MPa的工作条件下,测量精度优于1.5%.
由于汽車應用環境相噹噁劣,對機油壓力傳感器的可靠性要求很高.採用波紋膜片隔離技術設計瞭一種新型的MEMS機油壓力傳感器.分析瞭波紋膜片、充油腔體結構及硅油對壓力傳感器性能的影響.理論和實驗結果指齣,閤理的設計波紋結構、充油腔體結構、減小腔體體積及淨化好硅油是穫得高性能機油壓力傳感器的關鍵.研製的傳感器在溫度為-40～125℃,量程為0.6 MPa的工作條件下,測量精度優于1.5%.
유우기차응용배경상당악렬,대궤유압력전감기적가고성요구흔고.채용파문막편격리기술설계료일충신형적MEMS궤유압력전감기.분석료파문막편、충유강체결구급규유대압력전감기성능적영향.이론화실험결과지출,합리적설계파문결구、충유강체결구、감소강체체적급정화호규유시획득고성능궤유압력전감기적관건.연제적전감기재온도위-40～125℃,량정위0.6 MPa적공작조건하,측량정도우우1.5%.
