真空
真空
진공
VACUUM
2010年
4期
27-32
,共6页
章其初%陈革%王双%池华敬%周旭%孟秀清
章其初%陳革%王雙%池華敬%週旭%孟秀清
장기초%진혁%왕쌍%지화경%주욱%맹수청
真空太阳集热管%太阳吸收涂层%金属陶瓷%磁控溅射%镀膜机%集热管镀膜线
真空太暘集熱管%太暘吸收塗層%金屬陶瓷%磁控濺射%鍍膜機%集熱管鍍膜線
진공태양집열관%태양흡수도층%금속도자%자공천사%도막궤%집열관도막선
不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷太阳选择性吸收涂层于1995年在实验室制备成功,采用真空磁控溅射沉积.太阳吸收复合膜采用干涉吸收型膜层结构,由不同金属含量的两层金属陶瓷层组成吸收层.金属陶瓷吸收层采用在镀膜室中SS和Al金属靶,在溅射气体Ar和反应气体N2中同时溅射运行,SS靶非反应溅射沉积SS金属组分,Al靶反应溅射沉积AlN陶瓷组分.实验室沉积的SS-AlN吸收涂层的太阳吸收比高达94%～96%,室温辐射比3.5%～4.0%.皇明公司2001年开始产业化生产全玻璃SS-AlN真空太阳集热管.我们开发了立式集热管连续镀膜线,第一条镀膜线于2007年调试成功,投入生产.集热管镀膜线真空系统长约41 m,高约3 m.每条线日产约为1.8～2.0万支.
不鏽鋼-氮化鋁(SS-AlN)金屬陶瓷太暘選擇性吸收塗層于1995年在實驗室製備成功,採用真空磁控濺射沉積.太暘吸收複閤膜採用榦涉吸收型膜層結構,由不同金屬含量的兩層金屬陶瓷層組成吸收層.金屬陶瓷吸收層採用在鍍膜室中SS和Al金屬靶,在濺射氣體Ar和反應氣體N2中同時濺射運行,SS靶非反應濺射沉積SS金屬組分,Al靶反應濺射沉積AlN陶瓷組分.實驗室沉積的SS-AlN吸收塗層的太暘吸收比高達94%～96%,室溫輻射比3.5%～4.0%.皇明公司2001年開始產業化生產全玻璃SS-AlN真空太暘集熱管.我們開髮瞭立式集熱管連續鍍膜線,第一條鍍膜線于2007年調試成功,投入生產.集熱管鍍膜線真空繫統長約41 m,高約3 m.每條線日產約為1.8～2.0萬支.
불수강-담화려(SS-AlN)금속도자태양선택성흡수도층우1995년재실험실제비성공,채용진공자공천사침적.태양흡수복합막채용간섭흡수형막층결구,유불동금속함량적량층금속도자층조성흡수층.금속도자흡수층채용재도막실중SS화Al금속파,재천사기체Ar화반응기체N2중동시천사운행,SS파비반응천사침적SS금속조분,Al파반응천사침적AlN도자조분.실험실침적적SS-AlN흡수도층적태양흡수비고체94%～96%,실온복사비3.5%～4.0%.황명공사2001년개시산업화생산전파리SS-AlN진공태양집열관.아문개발료입식집열관련속도막선,제일조도막선우2007년조시성공,투입생산.집열관도막선진공계통장약41 m,고약3 m.매조선일산약위1.8～2.0만지.
