传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2011年
9期
1265-1269
,共5页
微陀螺%边缘效应%拐角效应%数值计算%驱动力
微陀螺%邊緣效應%枴角效應%數值計算%驅動力
미타라%변연효응%괴각효응%수치계산%구동력
准确计算静电力是分析微机械陀螺力学特性的关键.文章基于微陀螺静电驱动原理,介绍了微梳齿结构的静电场计算的无限大平板模型,边缘效应模型,拐角效应模型三种模型.推导了三种模型的电容计算公式和静电力计算公式.通过数值计算和有限元计算,得到交叠长度变化时,不同计算模型的电容和静电驱动力的对比和各种模型的适用范围.说明在微尺度条件下静电场的边缘效应和拐角效应应当在设计和计算梳齿时应当充分考虑.
準確計算靜電力是分析微機械陀螺力學特性的關鍵.文章基于微陀螺靜電驅動原理,介紹瞭微梳齒結構的靜電場計算的無限大平闆模型,邊緣效應模型,枴角效應模型三種模型.推導瞭三種模型的電容計算公式和靜電力計算公式.通過數值計算和有限元計算,得到交疊長度變化時,不同計算模型的電容和靜電驅動力的對比和各種模型的適用範圍.說明在微呎度條件下靜電場的邊緣效應和枴角效應應噹在設計和計算梳齒時應噹充分攷慮.
준학계산정전력시분석미궤계타라역학특성적관건.문장기우미타라정전구동원리,개소료미소치결구적정전장계산적무한대평판모형,변연효응모형,괴각효응모형삼충모형.추도료삼충모형적전용계산공식화정전력계산공식.통과수치계산화유한원계산,득도교첩장도변화시,불동계산모형적전용화정전구동력적대비화각충모형적괄용범위.설명재미척도조건하정전장적변연효응화괴각효응응당재설계화계산소치시응당충분고필.
