真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2003年
6期
425-428
,共4页
徐新艳%汪家友%杨银堂%付俊兴%柴常春%王平
徐新豔%汪傢友%楊銀堂%付俊興%柴常春%王平
서신염%왕가우%양은당%부준흥%시상춘%왕평
电子回旋共振%刻蚀%等离子体
電子迴鏇共振%刻蝕%等離子體
전자회선공진%각식%등리자체
在一台自行研制的电子回旋共振(ECR)刻蚀系统中用CF4、O2气体实现了Si3N4材料的微细图形刻蚀.获得了气体流量、气体混合比、微波功率等因素对刻蚀速率的影响.结果表明刻蚀速率在O2含量为0%时最慢,然后随着气体混合比的增加而增大,当气体中O2含量为20%时达到最大,然后随着气体混合比的增加而缓慢降低.保持气体混合比为20%,刻蚀速率随气体流量增加而增大;同时,微波功率越大,刻蚀速率也越高.
在一檯自行研製的電子迴鏇共振(ECR)刻蝕繫統中用CF4、O2氣體實現瞭Si3N4材料的微細圖形刻蝕.穫得瞭氣體流量、氣體混閤比、微波功率等因素對刻蝕速率的影響.結果錶明刻蝕速率在O2含量為0%時最慢,然後隨著氣體混閤比的增加而增大,噹氣體中O2含量為20%時達到最大,然後隨著氣體混閤比的增加而緩慢降低.保持氣體混閤比為20%,刻蝕速率隨氣體流量增加而增大;同時,微波功率越大,刻蝕速率也越高.
재일태자행연제적전자회선공진(ECR)각식계통중용CF4、O2기체실현료Si3N4재료적미세도형각식.획득료기체류량、기체혼합비、미파공솔등인소대각식속솔적영향.결과표명각식속솔재O2함량위0%시최만,연후수착기체혼합비적증가이증대,당기체중O2함량위20%시체도최대,연후수착기체혼합비적증가이완만강저.보지기체혼합비위20%,각식속솔수기체류량증가이증대;동시,미파공솔월대,각식속솔야월고.
