科学通报
科學通報
과학통보
CHINESE SCIENCE BULLETIN
2005年
16期
1684-1688
,共5页
硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)%Cu/Si-NPA%层次结构%浸渍沉积%水热腐蚀
硅納米孔柱陣列(Si-NPA)%Cu/Si-NPA%層次結構%浸漬沉積%水熱腐蝕
규납미공주진렬(Si-NPA)%Cu/Si-NPA%층차결구%침지침적%수열부식
采用水热腐蚀技术制备了硅纳米孔柱阵列(silicon nanoporous pillar array,Si-NPA),并以此为衬底通过浸渍沉积制备出一种具有规则表面结构的铜/Si-NPA纳米复合薄膜(Cu/Si-NPA). 形貌和结构分析表明,Si-NPA是一个典型的硅微米/纳米结构复合体系,它具有三个分明的结构层次,即微米尺度的硅柱所组成的规则阵列、硅柱表面密集分布的纳米孔洞以及组成孔壁的硅纳米单晶颗粒. 研究发现,Cu/Si-NPA在形貌上保持了Si-NPA的柱状阵列特征,薄膜中铜纳米颗粒的致密度随样品表面微区几何特征在柱顶区域和柱间低谷区域的不同而交替变化,并形成一种准周期性结构. 上述实验现象被认为来源于铜原子的沉积速度对Si-NPA表面微区几何特征的选择性. Si-NPA可以成为合成具有某些特殊图案、结构和功能的金属/硅纳米复合体系的理想模板.
採用水熱腐蝕技術製備瞭硅納米孔柱陣列(silicon nanoporous pillar array,Si-NPA),併以此為襯底通過浸漬沉積製備齣一種具有規則錶麵結構的銅/Si-NPA納米複閤薄膜(Cu/Si-NPA). 形貌和結構分析錶明,Si-NPA是一箇典型的硅微米/納米結構複閤體繫,它具有三箇分明的結構層次,即微米呎度的硅柱所組成的規則陣列、硅柱錶麵密集分佈的納米孔洞以及組成孔壁的硅納米單晶顆粒. 研究髮現,Cu/Si-NPA在形貌上保持瞭Si-NPA的柱狀陣列特徵,薄膜中銅納米顆粒的緻密度隨樣品錶麵微區幾何特徵在柱頂區域和柱間低穀區域的不同而交替變化,併形成一種準週期性結構. 上述實驗現象被認為來源于銅原子的沉積速度對Si-NPA錶麵微區幾何特徵的選擇性. Si-NPA可以成為閤成具有某些特殊圖案、結構和功能的金屬/硅納米複閤體繫的理想模闆.
채용수열부식기술제비료규납미공주진렬(silicon nanoporous pillar array,Si-NPA),병이차위츤저통과침지침적제비출일충구유규칙표면결구적동/Si-NPA납미복합박막(Cu/Si-NPA). 형모화결구분석표명,Si-NPA시일개전형적규미미/납미결구복합체계,타구유삼개분명적결구층차,즉미미척도적규주소조성적규칙진렬、규주표면밀집분포적납미공동이급조성공벽적규납미단정과립. 연구발현,Cu/Si-NPA재형모상보지료Si-NPA적주상진렬특정,박막중동납미과립적치밀도수양품표면미구궤하특정재주정구역화주간저곡구역적불동이교체변화,병형성일충준주기성결구. 상술실험현상피인위래원우동원자적침적속도대Si-NPA표면미구궤하특정적선택성. Si-NPA가이성위합성구유모사특수도안、결구화공능적금속/규납미복합체계적이상모판.
