太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2006年
3期
295-299
,共5页
屈盛%刘祖明%廖华%陈庭金
屈盛%劉祖明%廖華%陳庭金
굴성%류조명%료화%진정금
有效杂质浓度分布%迁移率%分段函数
有效雜質濃度分佈%遷移率%分段函數
유효잡질농도분포%천이솔%분단함수
在求解半导体扩散层中有效杂质浓度分布时,如果将半导体的载流子迁移率μ当作常数,所得的结果与实际分布有较大的出入.为了将迁移率的变化考虑到计算中,提出一个分段函数对n型硅的迁移率实验曲线进行拟合.考虑载流子迁移率μ的分布后,实验求得的分布曲线与实际分布更加接近了.
在求解半導體擴散層中有效雜質濃度分佈時,如果將半導體的載流子遷移率μ噹作常數,所得的結果與實際分佈有較大的齣入.為瞭將遷移率的變化攷慮到計算中,提齣一箇分段函數對n型硅的遷移率實驗麯線進行擬閤.攷慮載流子遷移率μ的分佈後,實驗求得的分佈麯線與實際分佈更加接近瞭.
재구해반도체확산층중유효잡질농도분포시,여과장반도체적재류자천이솔μ당작상수,소득적결과여실제분포유교대적출입.위료장천이솔적변화고필도계산중,제출일개분단함수대n형규적천이솔실험곡선진행의합.고필재류자천이솔μ적분포후,실험구득적분포곡선여실제분포경가접근료.