沈阳航空工业学院学报
瀋暘航空工業學院學報
침양항공공업학원학보
JOURNAL OF SHENYANG INSTITUTE OF AERONAUTICAL ENGINEERING
2006年
5期
78-80
,共3页
谐振器%梳齿%静电激励%有限元
諧振器%梳齒%靜電激勵%有限元
해진기%소치%정전격려%유한원
从理论上分析谐振器的静电制动特性和机械力学特性,给出了活动梳齿的谐振频率和谐振振幅的解析解,提供谐振器结构设计的依据.设计了四种结构形式的谐振器,充分考虑不同静电激励方式对谐振器的影响,合理选取结构参数,有效提高了谐振器抑制侧向失稳和粘附效应的能力.借助有限元软件在考虑硅微加工特性和可行性的基础上对谐振器模态和固有频率的仿真和计算,优化了谐振器结构参数,使工作模态远离其他高阶模态,具有良好的频率特性.
從理論上分析諧振器的靜電製動特性和機械力學特性,給齣瞭活動梳齒的諧振頻率和諧振振幅的解析解,提供諧振器結構設計的依據.設計瞭四種結構形式的諧振器,充分攷慮不同靜電激勵方式對諧振器的影響,閤理選取結構參數,有效提高瞭諧振器抑製側嚮失穩和粘附效應的能力.藉助有限元軟件在攷慮硅微加工特性和可行性的基礎上對諧振器模態和固有頻率的倣真和計算,優化瞭諧振器結構參數,使工作模態遠離其他高階模態,具有良好的頻率特性.
종이론상분석해진기적정전제동특성화궤계역학특성,급출료활동소치적해진빈솔화해진진폭적해석해,제공해진기결구설계적의거.설계료사충결구형식적해진기,충분고필불동정전격려방식대해진기적영향,합리선취결구삼수,유효제고료해진기억제측향실은화점부효응적능력.차조유한원연건재고필규미가공특성화가행성적기출상대해진기모태화고유빈솔적방진화계산,우화료해진기결구삼수,사공작모태원리기타고계모태,구유량호적빈솔특성.
