华中科技大学学报（自然科学版）
華中科技大學學報（自然科學版）
화중과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURE SCIENCE)
2007年
2期
74-76
,共3页
姜胜林%江勤%陈实%刘梅冬
薑勝林%江勤%陳實%劉梅鼕
강성림%강근%진실%류매동
非制冷红外焦平面阵列%微桥%各向异性腐蚀%腐蚀装置
非製冷紅外焦平麵陣列%微橋%各嚮異性腐蝕%腐蝕裝置
비제랭홍외초평면진렬%미교%각향이성부식%부식장치
利用硅单晶的各向异性腐蚀技术,研究了UFPA探测器的微桥腐蚀工艺.采用独特的腐蚀装置在厚度为300 μm的硅基片上成功地制备了腐蚀坑深度为260 μm,桥面宽度为2 mm的微桥结构.该装置能有效保护硅基片正面免受腐蚀液的漏蚀,从而可实施热释电薄膜的沉积先于微桥制备的技术线路,对提高器件的成品率具有重要的意义.
利用硅單晶的各嚮異性腐蝕技術,研究瞭UFPA探測器的微橋腐蝕工藝.採用獨特的腐蝕裝置在厚度為300 μm的硅基片上成功地製備瞭腐蝕坑深度為260 μm,橋麵寬度為2 mm的微橋結構.該裝置能有效保護硅基片正麵免受腐蝕液的漏蝕,從而可實施熱釋電薄膜的沉積先于微橋製備的技術線路,對提高器件的成品率具有重要的意義.
이용규단정적각향이성부식기술,연구료UFPA탐측기적미교부식공예.채용독특적부식장치재후도위300 μm적규기편상성공지제비료부식갱심도위260 μm,교면관도위2 mm적미교결구.해장치능유효보호규기편정면면수부식액적루식,종이가실시열석전박막적침적선우미교제비적기술선로,대제고기건적성품솔구유중요적의의.
