红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2006年
z2期
179-184
,共6页
庄克文%季一勤%宋洪君%赵志宏%洪伟
莊剋文%季一勤%宋洪君%趙誌宏%洪偉
장극문%계일근%송홍군%조지굉%홍위
应力%红外%光学薄膜%薄膜材料
應力%紅外%光學薄膜%薄膜材料
응력%홍외%광학박막%박막재료
薄膜材料的选择及其膜层特性的研究,是光学薄膜技术的基础和前提.YF3硬度较高,折射率较低,是优选的红外低折射率材料,但存在成膜后膜层的应力较大的缺陷.通过研究镀膜过程中基片的烘烤温度、辅助离子源能量以及成膜后的热处理条件对YF3膜层应力的影响,分析了YF3膜层的应力随所选定工艺参数的变化规律.
薄膜材料的選擇及其膜層特性的研究,是光學薄膜技術的基礎和前提.YF3硬度較高,摺射率較低,是優選的紅外低摺射率材料,但存在成膜後膜層的應力較大的缺陷.通過研究鍍膜過程中基片的烘烤溫度、輔助離子源能量以及成膜後的熱處理條件對YF3膜層應力的影響,分析瞭YF3膜層的應力隨所選定工藝參數的變化規律.
박막재료적선택급기막층특성적연구,시광학박막기술적기출화전제.YF3경도교고,절사솔교저,시우선적홍외저절사솔재료,단존재성막후막층적응력교대적결함.통과연구도막과정중기편적홍고온도、보조리자원능량이급성막후적열처리조건대YF3막층응력적영향,분석료YF3막층적응력수소선정공예삼수적변화규률.
