人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2009年
1期
231-234
,共4页
张丽伟%余泽通%杨根%卢景霄
張麗偉%餘澤通%楊根%盧景霄
장려위%여택통%양근%로경소
微晶硅薄膜%微观结构%微观形貌
微晶硅薄膜%微觀結構%微觀形貌
미정규박막%미관결구%미관형모
用甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)法在玻璃衬底上低温制备了不同沉积时间微晶硅薄膜.用拉曼散射光谱仪、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等表征手段对薄膜的微观结构进行了研究.研究结果表明:随着沉积时间的延长,薄膜呈岛状生长,薄膜晶粒度在微晶核形成后迅速升高并逐渐饱和;其微观结构经历了"非晶相→非晶/微晶混合相→微晶相"的演变过程.本实验制备的微薄膜仍以(111)为优化取向.
用甚高頻等離子體化學氣相沉積(VHF-PECVD)法在玻璃襯底上低溫製備瞭不同沉積時間微晶硅薄膜.用拉曼散射光譜儀、X射線衍射(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)等錶徵手段對薄膜的微觀結構進行瞭研究.研究結果錶明:隨著沉積時間的延長,薄膜呈島狀生長,薄膜晶粒度在微晶覈形成後迅速升高併逐漸飽和;其微觀結構經歷瞭"非晶相→非晶/微晶混閤相→微晶相"的縯變過程.本實驗製備的微薄膜仍以(111)為優化取嚮.
용심고빈등리자체화학기상침적(VHF-PECVD)법재파리츤저상저온제비료불동침적시간미정규박막.용랍만산사광보의、X사선연사(XRD)、원자력현미경(AFM)등표정수단대박막적미관결구진행료연구.연구결과표명:수착침적시간적연장,박막정도상생장,박막정립도재미정핵형성후신속승고병축점포화;기미관결구경력료"비정상→비정/미정혼합상→미정상"적연변과정.본실험제비적미박막잉이(111)위우화취향.
