自动化与仪器仪表
自動化與儀器儀錶
자동화여의기의표
AUTOMATION & INSTRUMENTATION
2012年
4期
74-76
,共3页
离子注入%均匀性控制%SOI%SIMOX
離子註入%均勻性控製%SOI%SIMOX
리자주입%균균성공제%SOI%SIMOX
在SIMOX工艺制作过程中,氧离子注入的均匀性对SOI材料表面硅厚度的均匀性和SiO2埋层厚度的均匀性起着直接的决定性的作用.文章介绍了一种氧离子注入均匀性控制系统的工作原理和设计方案,该方案应用于我所研制的强流氧离子注入机,取得了理想的效果.
在SIMOX工藝製作過程中,氧離子註入的均勻性對SOI材料錶麵硅厚度的均勻性和SiO2埋層厚度的均勻性起著直接的決定性的作用.文章介紹瞭一種氧離子註入均勻性控製繫統的工作原理和設計方案,該方案應用于我所研製的彊流氧離子註入機,取得瞭理想的效果.
재SIMOX공예제작과정중,양리자주입적균균성대SOI재료표면규후도적균균성화SiO2매층후도적균균성기착직접적결정성적작용.문장개소료일충양리자주입균균성공제계통적공작원리화설계방안,해방안응용우아소연제적강류양리자주입궤,취득료이상적효과.
