材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
12期
62-66
,共5页
汪立文%万蕴杰%高岭%董建新
汪立文%萬蘊傑%高嶺%董建新
왕립문%만온걸%고령%동건신
CAO薄膜%光学特性%透射率
CAO薄膜%光學特性%透射率
CAO박막%광학특성%투사솔
CuAlO2 (CAO)透明薄膜是一种铜铁矿结构p型直接带隙透明氧化物薄膜,该型薄膜样品的可见先透射率高达80％.随着基片温度的升高,薄膜的透射率减小；随着工作压强和靶基距的增大,薄膜的透射率增大；随着退火温度的升高,薄膜的透射率增大,有“蓝移”现象；随着溅射时间的延长,薄膜的透射率减小,也有“蓝移”现象.目前,利用该薄膜已成功制得了透明的臭氧传感器和透明光电板等器件,显示了CAO的应用前景.
CuAlO2 (CAO)透明薄膜是一種銅鐵礦結構p型直接帶隙透明氧化物薄膜,該型薄膜樣品的可見先透射率高達80％.隨著基片溫度的升高,薄膜的透射率減小；隨著工作壓彊和靶基距的增大,薄膜的透射率增大；隨著退火溫度的升高,薄膜的透射率增大,有“藍移”現象；隨著濺射時間的延長,薄膜的透射率減小,也有“藍移”現象.目前,利用該薄膜已成功製得瞭透明的臭氧傳感器和透明光電闆等器件,顯示瞭CAO的應用前景.
CuAlO2 (CAO)투명박막시일충동철광결구p형직접대극투명양화물박막,해형박막양품적가견선투사솔고체80％.수착기편온도적승고,박막적투사솔감소；수착공작압강화파기거적증대,박막적투사솔증대；수착퇴화온도적승고,박막적투사솔증대,유“람이”현상；수착천사시간적연장,박막적투사솔감소,야유“람이”현상.목전,이용해박막이성공제득료투명적취양전감기화투명광전판등기건,현시료CAO적응용전경.
