中国科技纵横
中國科技縱橫
중국과기종횡
CHINA SCIENCE & TECHNOLOGY PANORAMA MAGAZINE
2012年
3期
165-165
,共1页
多晶硅%尾气干法分离%氯化氢%氟化氢
多晶硅%尾氣榦法分離%氯化氫%氟化氫
다정규%미기간법분리%록화경%불화경
对于采用改良西门子法生产多晶硅过程中产生的废气进行分析，采用尾气干法分离、吸附法等方法对其进行处理，不仅使排放达到了国家大气污染物排放标准，更实现了H2、HCl、SiHCl3、SiCl4充分回收，具有非常高的经济效益和环境效益。
對于採用改良西門子法生產多晶硅過程中產生的廢氣進行分析，採用尾氣榦法分離、吸附法等方法對其進行處理，不僅使排放達到瞭國傢大氣汙染物排放標準，更實現瞭H2、HCl、SiHCl3、SiCl4充分迴收，具有非常高的經濟效益和環境效益。
대우채용개량서문자법생산다정규과정중산생적폐기진행분석，채용미기간법분리、흡부법등방법대기진행처리，불부사배방체도료국가대기오염물배방표준，경실현료H2、HCl、SiHCl3、SiCl4충분회수，구유비상고적경제효익화배경효익。
