金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2011年
2期
22-26
,共5页
金刚石薄膜%酸碱两步法%微型钻头%正偏压
金剛石薄膜%痠堿兩步法%微型鑽頭%正偏壓
금강석박막%산감량보법%미형찬두%정편압
线形同轴耦合式微波等离子体CVD法是在硬质合金微型钻头(微钻)表面沉积金刚石涂层的最佳方法之一.本文首先研究了酸碱两步预处理后微钻表面的形貌和成分,然后研究了微钻工作表面金刚石的沉积情况,最后重点研究了正偏压对微钻不同位置金刚石生长的影响.结果表明,在微钻上施加50 V正偏压时,金刚石薄膜具有最佳的形貌和较好的均匀性.
線形同軸耦閤式微波等離子體CVD法是在硬質閤金微型鑽頭(微鑽)錶麵沉積金剛石塗層的最佳方法之一.本文首先研究瞭痠堿兩步預處理後微鑽錶麵的形貌和成分,然後研究瞭微鑽工作錶麵金剛石的沉積情況,最後重點研究瞭正偏壓對微鑽不同位置金剛石生長的影響.結果錶明,在微鑽上施加50 V正偏壓時,金剛石薄膜具有最佳的形貌和較好的均勻性.
선형동축우합식미파등리자체CVD법시재경질합금미형찬두(미찬)표면침적금강석도층적최가방법지일.본문수선연구료산감량보예처리후미찬표면적형모화성분,연후연구료미찬공작표면금강석적침적정황,최후중점연구료정편압대미찬불동위치금강석생장적영향.결과표명,재미찬상시가50 V정편압시,금강석박막구유최가적형모화교호적균균성.
