照明工程学报
照明工程學報
조명공정학보
CHINA ILLUMINATING ENGINEERING JOURNAL
2010年
3期
1-7
,共7页
氯化氪准分子灯%介质阻挡放电%222nm辐射%辐射效率
氯化氪準分子燈%介質阻擋放電%222nm輻射%輻射效率
록화극준분자등%개질조당방전%222nm복사%복사효솔
本文介绍了基于介质阻挡放电(DBD)的KrCl准分子灯的光谱、输入功率以及222nm的辐射效率.KrCl准分子灯为同轴结构,内管内/外径为14/16mm,外管外径为40mm,壁厚分别为1.2,1.5,2.0mm.灯中充有1.5 Torr氯气(Cl2)和148.5 Torr氪气(Kr),总气压为150 Torr.灯用方波电源来驱动.222nm的辐射功率由Keitz公式计算得出,而灯电功率则通过高压探头和电流互感器结合示波器测量得出.结果表明,管壁越薄效率越高,1.2mm壁厚的KrCl准分子灯在方波电源驱动下的最佳效率为8.1%,在40～70 kHz范围内,方波频率对效率的影响不大,70 kHz略好.文中还讨论了输入功率、管壁温度和石英管透过率对效率的影响.
本文介紹瞭基于介質阻擋放電(DBD)的KrCl準分子燈的光譜、輸入功率以及222nm的輻射效率.KrCl準分子燈為同軸結構,內管內/外徑為14/16mm,外管外徑為40mm,壁厚分彆為1.2,1.5,2.0mm.燈中充有1.5 Torr氯氣(Cl2)和148.5 Torr氪氣(Kr),總氣壓為150 Torr.燈用方波電源來驅動.222nm的輻射功率由Keitz公式計算得齣,而燈電功率則通過高壓探頭和電流互感器結閤示波器測量得齣.結果錶明,管壁越薄效率越高,1.2mm壁厚的KrCl準分子燈在方波電源驅動下的最佳效率為8.1%,在40～70 kHz範圍內,方波頻率對效率的影響不大,70 kHz略好.文中還討論瞭輸入功率、管壁溫度和石英管透過率對效率的影響.
본문개소료기우개질조당방전(DBD)적KrCl준분자등적광보、수입공솔이급222nm적복사효솔.KrCl준분자등위동축결구,내관내/외경위14/16mm,외관외경위40mm,벽후분별위1.2,1.5,2.0mm.등중충유1.5 Torr록기(Cl2)화148.5 Torr극기(Kr),총기압위150 Torr.등용방파전원래구동.222nm적복사공솔유Keitz공식계산득출,이등전공솔칙통과고압탐두화전류호감기결합시파기측량득출.결과표명,관벽월박효솔월고,1.2mm벽후적KrCl준분자등재방파전원구동하적최가효솔위8.1%,재40～70 kHz범위내,방파빈솔대효솔적영향불대,70 kHz략호.문중환토론료수입공솔、관벽온도화석영관투과솔대효솔적영향.
