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SCIENCE & TECHNOLOGY INFORMATION
2010年
33期
61,63
,共2页
自由集电极电位纵向PNP晶体管%N阱技术%双层外延技术
自由集電極電位縱嚮PNP晶體管%N阱技術%雙層外延技術
자유집전겁전위종향PNP정체관%N정기술%쌍층외연기술
自由集电极电位纵向PNP器件是双极型集成电路工艺中的一种重要器件,具有较大的放大倍数,较高工作特征频率等特点,但按照正常双极工艺制作的纵向晶体管存在基区宽度难以控制、集电极电阻偏大等问题.通过采用N阱技术和双层外延技术,不仅可以增强器件制作工艺的可控性,而且可大大减小纵向晶体管的集电极电阻,从而提高器件的输出功率.
自由集電極電位縱嚮PNP器件是雙極型集成電路工藝中的一種重要器件,具有較大的放大倍數,較高工作特徵頻率等特點,但按照正常雙極工藝製作的縱嚮晶體管存在基區寬度難以控製、集電極電阻偏大等問題.通過採用N阱技術和雙層外延技術,不僅可以增彊器件製作工藝的可控性,而且可大大減小縱嚮晶體管的集電極電阻,從而提高器件的輸齣功率.
자유집전겁전위종향PNP기건시쌍겁형집성전로공예중적일충중요기건,구유교대적방대배수,교고공작특정빈솔등특점,단안조정상쌍겁공예제작적종향정체관존재기구관도난이공제、집전겁전조편대등문제.통과채용N정기술화쌍층외연기술,불부가이증강기건제작공예적가공성,이차가대대감소종향정체관적집전겁전조,종이제고기건적수출공솔.
