功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
7期
1154-1157
,共4页
张惠%沈鸿烈%鲁林峰%江丰%冯晓梅
張惠%瀋鴻烈%魯林峰%江豐%馮曉梅
장혜%침홍렬%로림봉%강봉%풍효매
AZO薄膜%磁控溅射%工作气压%PEN衬底
AZO薄膜%磁控濺射%工作氣壓%PEN襯底
AZO박막%자공천사%공작기압%PEN츤저
采用射频磁控溅射法在PEN衬底上室温制备了AZO薄膜,并对不同工作气压下(0.05~0.4Pa)沉积薄膜的结构及光电性能进行了研究.结果表明,薄膜具有良好的c轴择优取向,随工作气压增大,薄膜(002)峰强度减弱,晶粒减小,表面粗糙度增大,电学性能下降,薄膜可见光透过率变化不大,但禁带宽度变窄.与玻璃衬底相比,PEN衬底上沉积的AZO薄膜拥有更高的品质因数,获得的最佳电阻率、载流子浓度和霍尔迁移率分别为1.11×10-3Ω·cm、4.14×1020cm-3和13.60cm2/(V·s),该薄膜可见光的绝对透射率达到95.7%.
採用射頻磁控濺射法在PEN襯底上室溫製備瞭AZO薄膜,併對不同工作氣壓下(0.05~0.4Pa)沉積薄膜的結構及光電性能進行瞭研究.結果錶明,薄膜具有良好的c軸擇優取嚮,隨工作氣壓增大,薄膜(002)峰彊度減弱,晶粒減小,錶麵粗糙度增大,電學性能下降,薄膜可見光透過率變化不大,但禁帶寬度變窄.與玻璃襯底相比,PEN襯底上沉積的AZO薄膜擁有更高的品質因數,穫得的最佳電阻率、載流子濃度和霍爾遷移率分彆為1.11×10-3Ω·cm、4.14×1020cm-3和13.60cm2/(V·s),該薄膜可見光的絕對透射率達到95.7%.
채용사빈자공천사법재PEN츤저상실온제비료AZO박막,병대불동공작기압하(0.05~0.4Pa)침적박막적결구급광전성능진행료연구.결과표명,박막구유량호적c축택우취향,수공작기압증대,박막(002)봉강도감약,정립감소,표면조조도증대,전학성능하강,박막가견광투과솔변화불대,단금대관도변착.여파리츤저상비,PEN츤저상침적적AZO박막옹유경고적품질인수,획득적최가전조솔、재류자농도화곽이천이솔분별위1.11×10-3Ω·cm、4.14×1020cm-3화13.60cm2/(V·s),해박막가견광적절대투사솔체도95.7%.