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전자원기건자신
ECDN
2009年
3期
36-38
,共3页
刘俊标%方光荣%靳鹏云%薛虹%张福安%顾文琪
劉俊標%方光榮%靳鵬雲%薛虹%張福安%顧文琪
류준표%방광영%근붕운%설홍%장복안%고문기
电子束曝光%束闸%扫描电子显微镜%图形发生器
電子束曝光%束閘%掃描電子顯微鏡%圖形髮生器
전자속폭광%속갑%소묘전자현미경%도형발생기
基于扫描电镜(SEM)的纳米级电子束曝光系统能够以较低成本满足科研单位对纳米加工设备的需求.在电子束曝光系统中,需要快速束闸控制电子束通断以实现纳米图像的多场曝光.从安装位置、机械结构和驱动器等方面讨论快速束闸的设计.
基于掃描電鏡(SEM)的納米級電子束曝光繫統能夠以較低成本滿足科研單位對納米加工設備的需求.在電子束曝光繫統中,需要快速束閘控製電子束通斷以實現納米圖像的多場曝光.從安裝位置、機械結構和驅動器等方麵討論快速束閘的設計.
기우소묘전경(SEM)적납미급전자속폭광계통능구이교저성본만족과연단위대납미가공설비적수구.재전자속폭광계통중,수요쾌속속갑공제전자속통단이실현납미도상적다장폭광.종안장위치、궤계결구화구동기등방면토론쾌속속갑적설계.
