电子测量技术
電子測量技術
전자측량기술
ELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY
2009年
7期
62-65
,共4页
热电薄膜%Seebeck系数%电导率
熱電薄膜%Seebeck繫數%電導率
열전박막%Seebeck계수%전도솔
介绍了一种测量热电薄膜平面内Seebeek系数和电导率一体化的测量装置.本装置可用于测量室温到300℃温度范围内薄膜材料平面内Seebeek系数和电导率,测量过程简单,测量成本低,且不会对薄膜造成损伤.实验证明,在薄膜两端沉积一层导电性好的铜膜后,该测量装置完全可以忽略接触电阻的影响,使得测量稳定性好,精度高,可满足纳米薄膜热电材料的Seebeck系数和电导率的一体化测量的要求.
介紹瞭一種測量熱電薄膜平麵內Seebeek繫數和電導率一體化的測量裝置.本裝置可用于測量室溫到300℃溫度範圍內薄膜材料平麵內Seebeek繫數和電導率,測量過程簡單,測量成本低,且不會對薄膜造成損傷.實驗證明,在薄膜兩耑沉積一層導電性好的銅膜後,該測量裝置完全可以忽略接觸電阻的影響,使得測量穩定性好,精度高,可滿足納米薄膜熱電材料的Seebeck繫數和電導率的一體化測量的要求.
개소료일충측량열전박막평면내Seebeek계수화전도솔일체화적측량장치.본장치가용우측량실온도300℃온도범위내박막재료평면내Seebeek계수화전도솔,측량과정간단,측량성본저,차불회대박막조성손상.실험증명,재박막량단침적일층도전성호적동막후,해측량장치완전가이홀략접촉전조적영향,사득측량은정성호,정도고,가만족납미박막열전재료적Seebeck계수화전도솔적일체화측량적요구.
