中国电子科学研究院学报
中國電子科學研究院學報
중국전자과학연구원학보
JOURNAL OF CHINA ACADEMY OF ELECTRONICS AND INFORMATION TECHNOLOGY
2009年
2期
144-147
,共4页
庞炳远%闫萍%索开南%张殿朝
龐炳遠%閆萍%索開南%張殿朝
방병원%염평%색개남%장전조
区熔硅单晶%数值模拟%线圈台阶
區鎔硅單晶%數值模擬%線圈檯階
구용규단정%수치모의%선권태계
悬浮区熔法是生长硅单晶的重要方法之一,线圈形状作为主要的工艺参数直接影响能量分布并最终决定硅单晶的生长情况.通过有限元法对区熔硅单晶生长进行数值模拟,考虑二维轴对称情况下由高频线圈产生的电磁场对熔区产生的影响,主要对比分析了线圈上方有无台阶对单晶生长的不同影响.同时结合相应的试验结果及现象,得到了线圈台阶的引入提高了晶体成晶的质量.
懸浮區鎔法是生長硅單晶的重要方法之一,線圈形狀作為主要的工藝參數直接影響能量分佈併最終決定硅單晶的生長情況.通過有限元法對區鎔硅單晶生長進行數值模擬,攷慮二維軸對稱情況下由高頻線圈產生的電磁場對鎔區產生的影響,主要對比分析瞭線圈上方有無檯階對單晶生長的不同影響.同時結閤相應的試驗結果及現象,得到瞭線圈檯階的引入提高瞭晶體成晶的質量.
현부구용법시생장규단정적중요방법지일,선권형상작위주요적공예삼수직접영향능량분포병최종결정규단정적생장정황.통과유한원법대구용규단정생장진행수치모의,고필이유축대칭정황하유고빈선권산생적전자장대용구산생적영향,주요대비분석료선권상방유무태계대단정생장적불동영향.동시결합상응적시험결과급현상,득도료선권태계적인입제고료정체성정적질량.
