传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
4期
74-76,79
,共4页
权哲浩%林玉池%仝凌志%金日光%赵关蓉
權哲浩%林玉池%仝凌誌%金日光%趙關蓉
권철호%림옥지%동릉지%금일광%조관용
扫描隧道显微镜%微动台%压电陶瓷%尺蠖运动%有限元分析
掃描隧道顯微鏡%微動檯%壓電陶瓷%呎蠖運動%有限元分析
소묘수도현미경%미동태%압전도자%척확운동%유한원분석
设计了一种以基于尺蠖运动原理的微动台为核心的扫描隧道显微镜(STM)机械机构,利用有限元方法对微动台部分的结构进行分析,对其静态、模态特性进行了实验研究.结果表明:微动台具有较大的行程和较好的稳定性,载物力可以达到16.7N,最小步距约8.8nm,行程14mm.
設計瞭一種以基于呎蠖運動原理的微動檯為覈心的掃描隧道顯微鏡(STM)機械機構,利用有限元方法對微動檯部分的結構進行分析,對其靜態、模態特性進行瞭實驗研究.結果錶明:微動檯具有較大的行程和較好的穩定性,載物力可以達到16.7N,最小步距約8.8nm,行程14mm.
설계료일충이기우척확운동원리적미동태위핵심적소묘수도현미경(STM)궤계궤구,이용유한원방법대미동태부분적결구진행분석,대기정태、모태특성진행료실험연구.결과표명:미동태구유교대적행정화교호적은정성,재물력가이체도16.7N,최소보거약8.8nm,행정14mm.
