中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2008年
12期
1474-1479
,共6页
张尚盈%陈学东%赵慧%严天宏
張尚盈%陳學東%趙慧%嚴天宏
장상영%진학동%조혜%엄천굉
超精密%硅片台%主从控制%力解耦%纳米
超精密%硅片檯%主從控製%力解耦%納米
초정밀%규편태%주종공제%력해우%납미
描述一种应用于集成电路制造的超精密硅片台系统及其运动控制.介绍了超精密硅片台系统配置及其主从控制原理,结合粗动台和微动台两者的优点,可以实现运动控制的大行程和高精度.基于闭环控制,给出精密硅片台机电系统动力学辨识的方法并进行了实验辨识.利用环路整形技术,研究并联PID控制器和鲁棒控制器的自动综合方法.基于实际实现,提出力解耦控制策略.仿真结果表明,利用双台结构的超精密硅片台的定位精度可达到10nm.
描述一種應用于集成電路製造的超精密硅片檯繫統及其運動控製.介紹瞭超精密硅片檯繫統配置及其主從控製原理,結閤粗動檯和微動檯兩者的優點,可以實現運動控製的大行程和高精度.基于閉環控製,給齣精密硅片檯機電繫統動力學辨識的方法併進行瞭實驗辨識.利用環路整形技術,研究併聯PID控製器和魯棒控製器的自動綜閤方法.基于實際實現,提齣力解耦控製策略.倣真結果錶明,利用雙檯結構的超精密硅片檯的定位精度可達到10nm.
묘술일충응용우집성전로제조적초정밀규편태계통급기운동공제.개소료초정밀규편태계통배치급기주종공제원리,결합조동태화미동태량자적우점,가이실현운동공제적대행정화고정도.기우폐배공제,급출정밀규편태궤전계통동역학변식적방법병진행료실험변식.이용배로정형기술,연구병련PID공제기화로봉공제기적자동종합방법.기우실제실현,제출력해우공제책략.방진결과표명,이용쌍태결구적초정밀규편태적정위정도가체도10nm.
