聚焦离子束研磨Au-Ti-GaAs薄膜引起损伤的研究
취초리자속연마Au-Ti-GaAs박막인기손상적연구
Investigation of Damage Induced in Focused Ion Beam Milling of Au-Ti-GaAs Thin Films
  • 万方数据
    材料导报 재료도보
    MATERIALS REVIEW
    2008年 z1期 75-77 ,共3页

    谭勇文%徐天伟%谢雪冰%杨卫国%杨海

    담용문%서천위%사설빙%양위국%양해

    聚焦离子束%非晶层%蒙特卡罗方法%光电子器件 聚焦離子束%非晶層%矇特卡囉方法%光電子器件
    취초리자속%비정층%몽특잡라방법%광전자기건
    通过分析纳米孔的透射电子显微镜(TEM)截面图像和蒙特卡罗理论模拟,研究了聚焦离子束(FIB)研磨Au-Ti-GaAs薄膜的基本性能.应用蒙特卡罗方法模拟FIB研磨三层薄膜的损伤深度与离子能量大小的关系,由于材料不同的阻止本领和晶体结构等因素对损伤深度的影响,随着离子能量的增大,损伤深度并非线性增加.同时,溅射物质的重沉积也影响着纳米孔的形貌,对此也作了系统的分析和探讨.
    통과분석납미공적투사전자현미경(TEM)절면도상화몽특잡라이론모의,연구료취초리자속(FIB)연마Au-Ti-GaAs박막적기본성능.응용몽특잡라방법모의FIB연마삼층박막적손상심도여리자능량대소적관계,유우재료불동적조지본령화정체결구등인소대손상심도적영향,수착리자능량적증대,손상심도병비선성증가.동시,천사물질적중침적야영향착납미공적형모,대차야작료계통적분석화탐토.
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