半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2008年
3期
583-587
,共5页
MEMS%大尺寸光学扫描镜%电磁驱动%大角度转动%光学反射率
MEMS%大呎吋光學掃描鏡%電磁驅動%大角度轉動%光學反射率
MEMS%대척촌광학소묘경%전자구동%대각도전동%광학반사솔
设计并制作了一种结构新颖的镜面尺寸为6mm×4mm的电磁驱动MEMS光学扫描镜.这种背面为微型铜驱动线圈的MEMS硅基扭转镜面沉浸在由包含永磁体的磁回路产生的磁场中,当电流信号通过驱动线圈时,MEMS光学扫描镜绕着扭转梁发生了大角度的扫描运动.采用MEMS体硅加工工艺和电镀技术制作的器件显示出了优良的性能,实验获得的扫描镜静态转角斜率为0.03°/mA,当器件进行动态扫描时,在381Hz的谐振频率下获得了最大±10.2°的光学扭转角度,空气中的Q因子为221,相应的功耗为13μW,与此同时MEMS光学扫描镜具备了出色的镜面粗糙度、光学反射率和镜面平整度.实验证明该器件完全适合于微型光谱仪和可调光滤波器的应用.
設計併製作瞭一種結構新穎的鏡麵呎吋為6mm×4mm的電磁驅動MEMS光學掃描鏡.這種揹麵為微型銅驅動線圈的MEMS硅基扭轉鏡麵沉浸在由包含永磁體的磁迴路產生的磁場中,噹電流信號通過驅動線圈時,MEMS光學掃描鏡繞著扭轉樑髮生瞭大角度的掃描運動.採用MEMS體硅加工工藝和電鍍技術製作的器件顯示齣瞭優良的性能,實驗穫得的掃描鏡靜態轉角斜率為0.03°/mA,噹器件進行動態掃描時,在381Hz的諧振頻率下穫得瞭最大±10.2°的光學扭轉角度,空氣中的Q因子為221,相應的功耗為13μW,與此同時MEMS光學掃描鏡具備瞭齣色的鏡麵粗糙度、光學反射率和鏡麵平整度.實驗證明該器件完全適閤于微型光譜儀和可調光濾波器的應用.
설계병제작료일충결구신영적경면척촌위6mm×4mm적전자구동MEMS광학소묘경.저충배면위미형동구동선권적MEMS규기뉴전경면침침재유포함영자체적자회로산생적자장중,당전류신호통과구동선권시,MEMS광학소묘경요착뉴전량발생료대각도적소묘운동.채용MEMS체규가공공예화전도기술제작적기건현시출료우량적성능,실험획득적소묘경정태전각사솔위0.03°/mA,당기건진행동태소묘시,재381Hz적해진빈솔하획득료최대±10.2°적광학뉴전각도,공기중적Q인자위221,상응적공모위13μW,여차동시MEMS광학소묘경구비료출색적경면조조도、광학반사솔화경면평정도.실험증명해기건완전괄합우미형광보의화가조광려파기적응용.
