核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2007年
11期
952-955
,共4页
郝旭峰%周瑞敏%吴新锋%周菲%邓邦俊%费舜廷
郝旭峰%週瑞敏%吳新鋒%週菲%鄧邦俊%費舜廷
학욱봉%주서민%오신봉%주비%산방준%비순정
模板%PET%掩膜%电子束蚀刻%腐蚀
模闆%PET%掩膜%電子束蝕刻%腐蝕
모판%PET%엄막%전자속식각%부식
本文用掩膜工艺电子束蚀刻技术产生具有潜影的聚酯(PET)薄膜,经强氧化液(浓硫酸与重铬酸钾的混合液)腐蚀,产生有序微米多孔阵列PET模板.讨论了辐照剂量、腐蚀时间以及腐蚀温度等因素对基膜蚀刻和腐蚀的影响.结果表明:随着辐照剂量、腐蚀温度和腐蚀时间的增加,PET基膜更易被腐蚀.IR、DSC测量结果表明:辐照导致化学键的断裂、非晶化转变,是导致辐照PET薄膜的腐蚀失重率增加的原因.用此方法制备了孔径大小一致的微米级有序多孔阵列PET模板.
本文用掩膜工藝電子束蝕刻技術產生具有潛影的聚酯(PET)薄膜,經彊氧化液(濃硫痠與重鉻痠鉀的混閤液)腐蝕,產生有序微米多孔陣列PET模闆.討論瞭輻照劑量、腐蝕時間以及腐蝕溫度等因素對基膜蝕刻和腐蝕的影響.結果錶明:隨著輻照劑量、腐蝕溫度和腐蝕時間的增加,PET基膜更易被腐蝕.IR、DSC測量結果錶明:輻照導緻化學鍵的斷裂、非晶化轉變,是導緻輻照PET薄膜的腐蝕失重率增加的原因.用此方法製備瞭孔徑大小一緻的微米級有序多孔陣列PET模闆.
본문용엄막공예전자속식각기술산생구유잠영적취지(PET)박막,경강양화액(농류산여중락산갑적혼합액)부식,산생유서미미다공진렬PET모판.토론료복조제량、부식시간이급부식온도등인소대기막식각화부식적영향.결과표명:수착복조제량、부식온도화부식시간적증가,PET기막경역피부식.IR、DSC측량결과표명:복조도치화학건적단렬、비정화전변,시도치복조PET박막적부식실중솔증가적원인.용차방법제비료공경대소일치적미미급유서다공진렬PET모판.
