激光与光电子学进展
激光與光電子學進展
격광여광전자학진전
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS
2007年
8期
57-61
,共5页
孙利平%邓辉球%刘晓芝%佘彦武%黄飞江
孫利平%鄧輝毬%劉曉芝%佘彥武%黃飛江
손리평%산휘구%류효지%사언무%황비강
功能材料%二氧化钛%激光化学气相沉积%薄膜
功能材料%二氧化鈦%激光化學氣相沉積%薄膜
공능재료%이양화태%격광화학기상침적%박막
利用激光化学气相沉积(LCVD)方法,以钛金属有机化合物为前驱体,以O2为反应气体,在激光功率PL为0～200 w、基板预热温度为400～700℃的条件下,制备出了金红石型TiO2薄膜和金红石型与锐钛矿型混合TiO2薄膜.研究表明,激光功率和基板预热温度对所沉积的TiO2薄膜的物相组成、截面组织,表面形貌和薄膜生长速度均有着显著的影响.
利用激光化學氣相沉積(LCVD)方法,以鈦金屬有機化閤物為前驅體,以O2為反應氣體,在激光功率PL為0～200 w、基闆預熱溫度為400～700℃的條件下,製備齣瞭金紅石型TiO2薄膜和金紅石型與銳鈦礦型混閤TiO2薄膜.研究錶明,激光功率和基闆預熱溫度對所沉積的TiO2薄膜的物相組成、截麵組織,錶麵形貌和薄膜生長速度均有著顯著的影響.
이용격광화학기상침적(LCVD)방법,이태금속유궤화합물위전구체,이O2위반응기체,재격광공솔PL위0～200 w、기판예열온도위400～700℃적조건하,제비출료금홍석형TiO2박막화금홍석형여예태광형혼합TiO2박막.연구표명,격광공솔화기판예열온도대소침적적TiO2박막적물상조성、절면조직,표면형모화박막생장속도균유착현저적영향.
