CAJ | 학술논문

矩形平面直流磁控溅射装置在运行过程中,由于端部区域磁场弱于直道区域磁场,在靶表面对角线位置上容易出现反常刻蚀.通过对这种现象进行分析,该文对反常刻蚀的发生机理提出了新的观点,认为反常刻蚀的发生是由于电子由弱磁场区域向强磁场区域漂移的过程中,电子距靶表面的距离不能够随磁场变化而迅速改变,存在较长的过渡状态.进一步发现在磁体弯道区域沿圆周方向磁场分量的存在是导致弯道区域刻蚀跑道压缩以及跑道内侧刻蚀较快的重要因素.该文研究了不同的磁体初始设计结构对磁场的影响,通过对现有磁体磁场的三维计算分析,提出了磁场的改进原则,并对具体的磁场改进措施进行了研究.通过对现有不同磁场校正方法的比较,提出了一种应用铁块和永磁块对装置端部区域磁场进行校正的新方法.通过对改进后装置的磁场分布进行计算,该文提出的改进措施可以把沿跑道磁场的均匀度控制在5%左右,并且可以削弱沿圆周方向的磁场分量.
구형평면직류자공천사장치재운행과정중,유우단부구역자장약우직도구역자장,재파표면대각선위치상용역출현반상각식.통과대저충현상진행분석,해문대반상각식적발생궤리제출료신적관점,인위반상각식적발생시유우전자유약자장구역향강자장구역표이적과정중,전자거파표면적거리불능구수자장변화이신속개변,존재교장적과도상태.진일보발현재자체만도구역연원주방향자장분량적존재시도치만도구역각식포도압축이급포도내측각식교쾌적중요인소.해문연구료불동적자체초시설계결구대자장적영향,통과대현유자체자장적삼유계산분석,제출료자장적개진원칙,병대구체적자장개진조시진행료연구.통과대현유불동자장교정방법적비교,제출료일충응용철괴화영자괴대장치단부구역자장진행교정적신방법.통과대개진후장치적자장분포진행계산,해문제출적개진조시가이파연포도자장적균균도공제재5%좌우,병차가이삭약연원주방향적자장분량.