现代技术陶瓷
現代技術陶瓷
현대기술도자
ADVANCED CERAMICS
2006年
3期
16-19
,共4页
升/降温速率%退火%钛酸锶钡薄膜%介电性能%结构特征
升/降溫速率%退火%鈦痠鍶鋇薄膜%介電性能%結構特徵
승/강온속솔%퇴화%태산송패박막%개전성능%결구특정
采用HPAgilent4294A阻抗分析仪、X衍射、扫描电镜等测试方法研究了热处理温度对BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜结构与性能的影响.当升/降温速率为0 5～1℃/min时,得到的薄膜表面均匀、无裂纹、孔洞.经过750℃退火处理后,薄膜的介电性能最佳,即具有较高的相对介电常数和较小的介质损耗.
採用HPAgilent4294A阻抗分析儀、X衍射、掃描電鏡等測試方法研究瞭熱處理溫度對BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜結構與性能的影響.噹升/降溫速率為0 5～1℃/min時,得到的薄膜錶麵均勻、無裂紋、孔洞.經過750℃退火處理後,薄膜的介電性能最佳,即具有較高的相對介電常數和較小的介質損耗.
채용HPAgilent4294A조항분석의、X연사、소묘전경등측시방법연구료열처리온도대BaxSr1-xTiO3(BST)박막결구여성능적영향.당승/강온속솔위0 5～1℃/min시,득도적박막표면균균、무렬문、공동.경과750℃퇴화처리후,박막적개전성능최가,즉구유교고적상대개전상수화교소적개질손모.
