激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2006年
3期
283-285
,共3页
薄膜%光学膜厚监控%数字式锁相放大器%精度%信噪比
薄膜%光學膜厚鑑控%數字式鎖相放大器%精度%信譟比
박막%광학막후감공%수자식쇄상방대기%정도%신조비
通过对光学膜厚监控系统中光路部分、电路部分以及信号处理部分的噪声分析,设计出频率稳定性良好的斩光器、低噪声光接收电路和具有较强抗噪声性能的数字式锁相放大器,从而显著地提高了系统的精度和稳定性,为提高镀膜成功率和薄膜性能创造了有利的条件.将该系统应用于镀膜系统中,实验结果证实了该系统具有较高的精度和稳定性.
通過對光學膜厚鑑控繫統中光路部分、電路部分以及信號處理部分的譟聲分析,設計齣頻率穩定性良好的斬光器、低譟聲光接收電路和具有較彊抗譟聲性能的數字式鎖相放大器,從而顯著地提高瞭繫統的精度和穩定性,為提高鍍膜成功率和薄膜性能創造瞭有利的條件.將該繫統應用于鍍膜繫統中,實驗結果證實瞭該繫統具有較高的精度和穩定性.
통과대광학막후감공계통중광로부분、전로부분이급신호처리부분적조성분석,설계출빈솔은정성량호적참광기、저조성광접수전로화구유교강항조성성능적수자식쇄상방대기,종이현저지제고료계통적정도화은정성,위제고도막성공솔화박막성능창조료유리적조건.장해계통응용우도막계통중,실험결과증실료해계통구유교고적정도화은정성.
