物理学报
物理學報
물이학보
2005年
10期
4903-4908
,共6页
于敦波%丰家峰%杜永胜%韩秀峰%严辉%应启明%张国成
于敦波%豐傢峰%杜永勝%韓秀峰%嚴輝%應啟明%張國成
우돈파%봉가봉%두영성%한수봉%엄휘%응계명%장국성
La1-xSrxMnO3%半金属%成分调制%复合磁性隧道路%隧穿磁电阻
La1-xSrxMnO3%半金屬%成分調製%複閤磁性隧道路%隧穿磁電阻
La1-xSrxMnO3%반금속%성분조제%복합자성수도로%수천자전조
利用磁控溅射和Sr成分的调制以及原位热处理方法,在10mm×10mm大小的(001)取向SrTiO3单晶衬底上制备出三明治结构为La0.7Sr0.3MnO3(100nm)/La0.96Sr0.04MnO3(5nm)/La0.7Sr0.3MnO3(100nm)的隧道结外延薄膜,然后再次利用磁控溅射方法,在三层单晶膜上方继续沉积Ir22Mn78(15nm)/Ni79Fe21(5nm)/Pt(20nm)等金属三层膜.最后利用深紫外曝光和Ar离子束刻蚀等微加工技术,制备出长短轴分别为12和6μm或者8和4μm大小的椭圆形La1-xSrxMnO3成分调制的复合磁性隧道结.在4.2K和外加磁场8 T的测试下,La1-xSrxMnO3成分调制的复合磁性隧道结其隧穿磁电阻(TMR)比值达到3270%,直接从实验上证实了铁磁性La07Sr0.3MnO3金属氧化物的自旋极化率(97%)可接近100%,具有很好的半金属性质.
利用磁控濺射和Sr成分的調製以及原位熱處理方法,在10mm×10mm大小的(001)取嚮SrTiO3單晶襯底上製備齣三明治結構為La0.7Sr0.3MnO3(100nm)/La0.96Sr0.04MnO3(5nm)/La0.7Sr0.3MnO3(100nm)的隧道結外延薄膜,然後再次利用磁控濺射方法,在三層單晶膜上方繼續沉積Ir22Mn78(15nm)/Ni79Fe21(5nm)/Pt(20nm)等金屬三層膜.最後利用深紫外曝光和Ar離子束刻蝕等微加工技術,製備齣長短軸分彆為12和6μm或者8和4μm大小的橢圓形La1-xSrxMnO3成分調製的複閤磁性隧道結.在4.2K和外加磁場8 T的測試下,La1-xSrxMnO3成分調製的複閤磁性隧道結其隧穿磁電阻(TMR)比值達到3270%,直接從實驗上證實瞭鐵磁性La07Sr0.3MnO3金屬氧化物的自鏇極化率(97%)可接近100%,具有很好的半金屬性質.
이용자공천사화Sr성분적조제이급원위열처리방법,재10mm×10mm대소적(001)취향SrTiO3단정츤저상제비출삼명치결구위La0.7Sr0.3MnO3(100nm)/La0.96Sr0.04MnO3(5nm)/La0.7Sr0.3MnO3(100nm)적수도결외연박막,연후재차이용자공천사방법,재삼층단정막상방계속침적Ir22Mn78(15nm)/Ni79Fe21(5nm)/Pt(20nm)등금속삼층막.최후이용심자외폭광화Ar리자속각식등미가공기술,제비출장단축분별위12화6μm혹자8화4μm대소적타원형La1-xSrxMnO3성분조제적복합자성수도결.재4.2K화외가자장8 T적측시하,La1-xSrxMnO3성분조제적복합자성수도결기수천자전조(TMR)비치체도3270%,직접종실험상증실료철자성La07Sr0.3MnO3금속양화물적자선겁화솔(97%)가접근100%,구유흔호적반금속성질.
