离子束溅射BST薄膜的制备及结构分析
리자속천사BST박막적제비급결구분석
Microstructure of BST films by ion-beam sputtering
  • 万方数据
    功能材料 공능재료
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
    2004年 z1期 1379-1382 ,共4页

    陈亮%张曙%邓书康%陈刚%高立刚%阚家德%杨宇

    진량%장서%산서강%진강%고립강%감가덕%양우

    钛酸锶钡%薄膜%离子束溅射%晶体结构 鈦痠鍶鋇%薄膜%離子束濺射%晶體結構
    태산송패%박막%리자속천사%정체결구
    本文采用离子束溅射的方法制备了不同衬底温度下的BST薄膜,用X射线、Raman、SPM等技术对晶体结构及微观形貌进行表征,研究了离子束溅射制备BST的工艺.
    본문채용리자속천사적방법제비료불동츤저온도하적BST박막,용X사선、Raman、SPM등기술대정체결구급미관형모진행표정,연구료리자속천사제비BST적공예.
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