半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2003年
7期
20-22,37
,共4页
光刻版%光刻%电子设计自动化%集成电路
光刻版%光刻%電子設計自動化%集成電路
광각판%광각%전자설계자동화%집성전로
介绍了集成电路行业中在光刻版数据处理时的工艺涨缩问题,分别讨论了正涨缩和负涨缩问题,涨缩与反转处理的次序问题,尤其对位于版图边沿图形的涨缩进行了详细的讨论,并且提出了一种电子设计自动化软件的解决方案和实际结果.
介紹瞭集成電路行業中在光刻版數據處理時的工藝漲縮問題,分彆討論瞭正漲縮和負漲縮問題,漲縮與反轉處理的次序問題,尤其對位于版圖邊沿圖形的漲縮進行瞭詳細的討論,併且提齣瞭一種電子設計自動化軟件的解決方案和實際結果.
개소료집성전로행업중재광각판수거처리시적공예창축문제,분별토론료정창축화부창축문제,창축여반전처리적차서문제,우기대위우판도변연도형적창축진행료상세적토론,병차제출료일충전자설계자동화연건적해결방안화실제결과.
