真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2003年
4期
295-298,225
,共5页
冷永祥%孙鸿%徐禄祥%裘叶军%陈俊英%黄楠
冷永祥%孫鴻%徐祿祥%裘葉軍%陳俊英%黃楠
랭영상%손홍%서록상%구협군%진준영%황남
氮化钛%等离子浸没离子注入和沉积%硬度%耐磨性%成分%结构
氮化鈦%等離子浸沒離子註入和沉積%硬度%耐磨性%成分%結構
담화태%등리자침몰리자주입화침적%경도%내마성%성분%결구
利用多功能等离子体浸没离子注入设备,采用等离子体浸没离子注入和沉积技术在Ti合金表面制备具有优异力学性能的TiN薄膜.研究了真空室中氮气存在状态及氮气压力对薄膜性能的影响:当氮以中性气体存在于真空室中,薄膜的生长主要受热力学因素控制,沿着低自由能的密排面(低指数面)TiN(111)择优生长;当氮以等离子体状态存在于真空室中,薄膜沿着高指数面TiN(220)择优生长,具有高硬度、耐磨性好的优点,并且随着N分压的提高,薄膜耐磨性提高.
利用多功能等離子體浸沒離子註入設備,採用等離子體浸沒離子註入和沉積技術在Ti閤金錶麵製備具有優異力學性能的TiN薄膜.研究瞭真空室中氮氣存在狀態及氮氣壓力對薄膜性能的影響:噹氮以中性氣體存在于真空室中,薄膜的生長主要受熱力學因素控製,沿著低自由能的密排麵(低指數麵)TiN(111)擇優生長;噹氮以等離子體狀態存在于真空室中,薄膜沿著高指數麵TiN(220)擇優生長,具有高硬度、耐磨性好的優點,併且隨著N分壓的提高,薄膜耐磨性提高.
이용다공능등리자체침몰리자주입설비,채용등리자체침몰리자주입화침적기술재Ti합금표면제비구유우이역학성능적TiN박막.연구료진공실중담기존재상태급담기압력대박막성능적영향:당담이중성기체존재우진공실중,박막적생장주요수열역학인소공제,연착저자유능적밀배면(저지수면)TiN(111)택우생장;당담이등리자체상태존재우진공실중,박막연착고지수면TiN(220)택우생장,구유고경도、내마성호적우점,병차수착N분압적제고,박막내마성제고.