真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2001年
4期
332-335
,共4页
朱炎%狄国庆%陈亚杰%赵登涛%杨海峰
硃炎%狄國慶%陳亞傑%趙登濤%楊海峰
주염%적국경%진아걸%조등도%양해봉
Fe-N薄膜%磁场%磁性能%晶粒
Fe-N薄膜%磁場%磁性能%晶粒
Fe-N박막%자장%자성능%정립
利用反应磁控溅射方法制备了Fe-N薄膜.发现未退火的薄膜基本处于非晶或微晶状态,退火或在沉积时对基片施加一磁场,可使晶粒变大,并出现对应内部存在应力的γ′-Fe4N的(110)晶面的择优取向.特别是外加的磁场使得Fe-N薄膜具有明显改善的磁性能.作者利用磁场中带电粒子受约运动的观点解释了这一现象.
利用反應磁控濺射方法製備瞭Fe-N薄膜.髮現未退火的薄膜基本處于非晶或微晶狀態,退火或在沉積時對基片施加一磁場,可使晶粒變大,併齣現對應內部存在應力的γ′-Fe4N的(110)晶麵的擇優取嚮.特彆是外加的磁場使得Fe-N薄膜具有明顯改善的磁性能.作者利用磁場中帶電粒子受約運動的觀點解釋瞭這一現象.
이용반응자공천사방법제비료Fe-N박막.발현미퇴화적박막기본처우비정혹미정상태,퇴화혹재침적시대기편시가일자장,가사정립변대,병출현대응내부존재응력적γ′-Fe4N적(110)정면적택우취향.특별시외가적자장사득Fe-N박막구유명현개선적자성능.작자이용자장중대전입자수약운동적관점해석료저일현상.
