无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2001年
5期
928-932
,共5页
铁电薄膜%Y-PZT薄膜%印刻(imprinting)
鐵電薄膜%Y-PZT薄膜%印刻(imprinting)
철전박막%Y-PZT박막%인각(imprinting)
铁电PZT薄膜的极化印刻(imprinting)是PZT不挥发存储器失效的重要原因之一.本文研究了不同钇量改性的PZT(40/60)铁电薄膜在高温(120℃)和偏置电压下的极化印刻特性,发现适量的钇掺杂,改善了PZT薄膜电容器单元的极化印刻.
鐵電PZT薄膜的極化印刻(imprinting)是PZT不揮髮存儲器失效的重要原因之一.本文研究瞭不同釔量改性的PZT(40/60)鐵電薄膜在高溫(120℃)和偏置電壓下的極化印刻特性,髮現適量的釔摻雜,改善瞭PZT薄膜電容器單元的極化印刻.
철전PZT박막적겁화인각(imprinting)시PZT불휘발존저기실효적중요원인지일.본문연구료불동을량개성적PZT(40/60)철전박막재고온(120℃)화편치전압하적겁화인각특성,발현괄량적을참잡,개선료PZT박막전용기단원적겁화인각.
