广西工学院学报
廣西工學院學報
엄서공학원학보
JOURNAL OF GUANGXI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2001年
4期
1-5
,共5页
王敬义%陶甫廷%何笑明%尹盛
王敬義%陶甫廷%何笑明%尹盛
왕경의%도보정%하소명%윤성
多元薄膜%溅射速率%靶中毒
多元薄膜%濺射速率%靶中毒
다원박막%천사속솔%파중독
从粒子的产生、输运及表面反应出发,建立总的输运模型并得到靶的溅射速率和化合物的复盖度.模型中都是以宏观工艺参数及反应室结构参数表达的,对薄膜材料的溅射淀积技术具有重要的应用价值.
從粒子的產生、輸運及錶麵反應齣髮,建立總的輸運模型併得到靶的濺射速率和化閤物的複蓋度.模型中都是以宏觀工藝參數及反應室結構參數錶達的,對薄膜材料的濺射澱積技術具有重要的應用價值.
종입자적산생、수운급표면반응출발,건립총적수운모형병득도파적천사속솔화화합물적복개도.모형중도시이굉관공예삼수급반응실결구삼수표체적,대박막재료적천사정적기술구유중요적응용개치.
