高分子学报
高分子學報
고분자학보
ACTA POLYMERICA SINICA
2000年
6期
791-794
,共4页
朱明%唐国翌%李昱峰%陈锡花
硃明%唐國翌%李昱峰%陳錫花
주명%당국익%리욱봉%진석화
硬度%耐磨性能%XPS%离子注入%聚酰亚胺
硬度%耐磨性能%XPS%離子註入%聚酰亞胺
경도%내마성능%XPS%리자주입%취선아알
聚酰亚胺(Kapton)薄膜在经过1MeV、1.5MeV、2MeV的He+离子注入后,表面硬度和耐磨性能发生了很大的变化,测试结果表明随着注入He+离子能量的提高,薄膜的表面硬度随之增大,且均大于未注入的样品;样品最佳耐磨性能并不出现在最高注入能量下,而是在一中等能量下获得.通过X-射线光电子能谱(XPS)实验得出注入He+离子后的薄膜表面层中O、N原子含量降低,形成以苯环为主的三维立体网状结构.
聚酰亞胺(Kapton)薄膜在經過1MeV、1.5MeV、2MeV的He+離子註入後,錶麵硬度和耐磨性能髮生瞭很大的變化,測試結果錶明隨著註入He+離子能量的提高,薄膜的錶麵硬度隨之增大,且均大于未註入的樣品;樣品最佳耐磨性能併不齣現在最高註入能量下,而是在一中等能量下穫得.通過X-射線光電子能譜(XPS)實驗得齣註入He+離子後的薄膜錶麵層中O、N原子含量降低,形成以苯環為主的三維立體網狀結構.
취선아알(Kapton)박막재경과1MeV、1.5MeV、2MeV적He+리자주입후,표면경도화내마성능발생료흔대적변화,측시결과표명수착주입He+리자능량적제고,박막적표면경도수지증대,차균대우미주입적양품;양품최가내마성능병불출현재최고주입능량하,이시재일중등능량하획득.통과X-사선광전자능보(XPS)실험득출주입He+리자후적박막표면층중O、N원자함량강저,형성이분배위주적삼유입체망상결구.
