中国陶瓷工业
中國陶瓷工業
중국도자공업
CHINA CERAMIC INDUSTRY
1999年
1期
20-22
,共3页
余京松%马青松%葛曼珍%杨辉%江仲华
餘京鬆%馬青鬆%葛曼珍%楊輝%江仲華
여경송%마청송%갈만진%양휘%강중화
氮化硅%薄膜%制备
氮化硅%薄膜%製備
담화규%박막%제비
氮化硅薄膜是一种重要的精细陶瓷薄膜材料,具有优秀的光电性能、钝化性能、稳定性能和机械性能,在微电子、光电和材料表面改性等领域有着广阔的应用前景.本文综述了几种制备氮化硅薄膜的方法.
氮化硅薄膜是一種重要的精細陶瓷薄膜材料,具有優秀的光電性能、鈍化性能、穩定性能和機械性能,在微電子、光電和材料錶麵改性等領域有著廣闊的應用前景.本文綜述瞭幾種製備氮化硅薄膜的方法.
담화규박막시일충중요적정세도자박막재료,구유우수적광전성능、둔화성능、은정성능화궤계성능,재미전자、광전화재료표면개성등영역유착엄활적응용전경.본문종술료궤충제비담화규박막적방법.
