半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
1999年
2期
28-29
,共2页
贾海强%张玉清%张慕义%李岚
賈海彊%張玉清%張慕義%李嵐
가해강%장옥청%장모의%리람
亚半微米%移相掩模
亞半微米%移相掩模
아반미미%이상엄모
一种用于大栅宽器件的移相掩模应用技术是将移相器边缘线用作不透明掩模,以代替铬图形.利用此移相掩模技术,制作了特征线长为0.15μm的微细栅条和大栅宽器件.
一種用于大柵寬器件的移相掩模應用技術是將移相器邊緣線用作不透明掩模,以代替鉻圖形.利用此移相掩模技術,製作瞭特徵線長為0.15μm的微細柵條和大柵寬器件.
일충용우대책관기건적이상엄모응용기술시장이상기변연선용작불투명엄모,이대체락도형.이용차이상엄모기술,제작료특정선장위0.15μm적미세책조화대책관기건.
