太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2003年
2期
257-263
,共7页
施兆顺%陈庭金%苏红兵%涂洁磊%张跃%胡志华
施兆順%陳庭金%囌紅兵%塗潔磊%張躍%鬍誌華
시조순%진정금%소홍병%도길뢰%장약%호지화
GaAs薄膜%电极电位%电化学沉积
GaAs薄膜%電極電位%電化學沉積
GaAs박막%전겁전위%전화학침적
在探讨电化学方法沉积GaAs薄膜的工艺原理、电化学动力学过程、电极反应本质及摸索电化学工艺条件对薄膜成分影响的经验规律的基础上,以SnO2导电玻璃作为阴极衬底材料,从简单盐水溶液中,按照确定的电共沉积的工艺条件成功地沉积了化学计量比趋近于1的GaAs薄膜.并对薄膜的性能进行了一些测定.实验结果表明采用电化学方法制备化合物半导体GaAs薄膜的可行性及薄膜性能质量改善提高的一些途径.为后续研究及最终获得可以利用的材料打下了基础.
在探討電化學方法沉積GaAs薄膜的工藝原理、電化學動力學過程、電極反應本質及摸索電化學工藝條件對薄膜成分影響的經驗規律的基礎上,以SnO2導電玻璃作為陰極襯底材料,從簡單鹽水溶液中,按照確定的電共沉積的工藝條件成功地沉積瞭化學計量比趨近于1的GaAs薄膜.併對薄膜的性能進行瞭一些測定.實驗結果錶明採用電化學方法製備化閤物半導體GaAs薄膜的可行性及薄膜性能質量改善提高的一些途徑.為後續研究及最終穫得可以利用的材料打下瞭基礎.
재탐토전화학방법침적GaAs박막적공예원리、전화학동역학과정、전겁반응본질급모색전화학공예조건대박막성분영향적경험규률적기출상,이SnO2도전파리작위음겁츤저재료,종간단염수용액중,안조학정적전공침적적공예조건성공지침적료화학계량비추근우1적GaAs박막.병대박막적성능진행료일사측정.실험결과표명채용전화학방법제비화합물반도체GaAs박막적가행성급박막성능질량개선제고적일사도경.위후속연구급최종획득가이이용적재료타하료기출.
